主动式隔振系统

TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以最大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供最先进的主动振动和运动消除系统。 Stage-Base的优势- Stage-Base ...

概述 Electro-Damp®是第一款专门用于提高半导体制造应用中的吞吐量、分辨率和产量的商用主动隔振系统。Electro-Damp II是对原始系统的完全重新设计，增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙执行器以及多个专门设计用于OEM应用（如显微光刻、检测和计量工具）的数字用户界面。 半导体制造工具对其隔振系统提出了相互矛盾的要求。为了应对地面噪音，系统必须足够柔软，以有效地过滤地面振动，阻止其到达隔振表面。同时，系统必须足够坚硬，以应对工作台的力，以便工作台运动使隔振表面产生最小位移并能快速稳定。 ...

... SEM-Base LP 是我们标准 SEM-Base 主动压电减振平台的定制低调版本。 SEM-Base LP 更易于安装，提供出色的性能，并且符合人体工程学优化。 紧凑的设计便于安装，而无需使用 SEM 内置调平脚以外的任何东西提升扫描电子显微镜 (SEM) 柱。 而且，一旦安装，SEM 在地板上方的高度不会增加。 SEM-Base LP 采用了我们独特的 SASTIS 压电技术，具有与我们的行业标准 SEM-Base VI 相同的减振性能。 SEM-Base ...

... 适用于具有高动态力且进行敏感测量和检测的机器、光刻设备、激光机、高分辨率电子显微镜和半导体工业机械。 在传统空气弹簧与电气动调平系统的隔离效率和稳定时间不足时，使用 AIS™。 -主动电气动隔振提供六自由度的控制。 -最佳的隔振性能，无需在共振时放大。 -垂直和水平平面均具有出色的液位精度。 -在机器内移动质量加速或减速后，最小偏转和建立时间，较短的建立时间等于更高的机器吞吐量。 -非常高效的实时控制。 -PLC、CAN 总线、一个控制器和一个高速电动气动伺服阀，每个自由度。 ...

... PAL 型气动隔离器提供卓越的低频振动隔离。 这些隔离器非常适合高度控制和低频振动控制必须同时存在的条件。 Fabreeka PAL 隔离器可满足计量仪器、电子显微镜、检测站和精密制造设备的关键需求。 ...