卧式搬运系统

集装片和卸片一体，可从石英舟中把扩散后的硅片卸到片篮中，也可从片篮中将制绒后的硅片装入石英舟中。可在⼀个石英舟插槽中插⼊两片，实现单面扩散片工艺，也可在⼀个石英舟插槽中插入一片，实现双面扩散片工艺。采用装片与卸片可连续衔接⽅式，实现连续生产；也可单独装片或单独卸片。 1、采用进口六轴机械手装卸片，确保硅片取放高可靠性。 2、HMI采用（IPC）工业计算机运行上位软件，通过网络通讯实现高速数据交互。 3、采用精密检测元器件检测石英舟动态位置实现纠偏定位。 4、卸片前设有冷却系统，可防止因高温带来对硅片和设备的不良影响。 5、顶齿、吸盘重要零部件采用特殊加工工艺，极大降低顶齿印、吸盘印。 6、装卸花篮可做立式或卧式，客户可根据需求灵活选择。 7、可选配MES功能；可选配方阻检测模组；可选配AGV。

派克的核心处理系统提供自动对准，堆叠，捆扎和码垛多个长度的核心，垂直或水平。 适用于长度达12m，直径可达400mm的铁芯。 parker的卜理系统为用户扌共了垂直平的多段长度芯线的自动对准，堆疊，睏扌酥日码垛。这些系统 能够处理长度达12m，直径可达400mm的核心。 核心理系统·技术参数： '芯长：600·12000mm ·夕卜彳圣50-400mm '芯重：最大10kg/m '芯包重量最大1000kg ·循环时间：4包/分钟。

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