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气体收集系统
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... - 5-55 摄氏度工作温度范围。 - 0-100 摄氏度采样气体温度。 - 0-2lpm 循环气体流速能力。 - 0-20psig (可提供亚大气压)气体收集压力范围。 - 1/4'' 世伟洛克压缩或 VCR 进口和出口接头。 - RS232、RS485、Modbus、Profibus 和 ProfiNet 选件。 LDetek LDRPS 是一种自动气体回收和净化系统,可回收气相色谱仪中使用的氦气载气。它收集废载气,将其净化至 99.999999%,并使用微等离子探测器测量痕量杂质,然后将其返回气相色谱仪。它大大降低了气相色谱系统或任何其他工艺的运行成本。 该系统还可与任何其他类型的必须回收的气源兼容。 ...
... TGT 提供余热回收系统的交钥匙集成服务。这些系统可用于热能生产(热水、工艺蒸汽......),也可利用 ORC(有机郎肯循环)系统发电。这些系统与空气污染控制系统完美结合,从而优化了两者的投资成本、布局和效率。对烟气特性的深入了解使我们能够避免热交换器的维护问题。我们还提供无资本支出的融资解决方案。 ...
... Terragon 的新型微型自动气化系统(MAGSTM)是世界上最紧凑、高效和环保安全的技术,可将各种可燃物质转化为热能,供产生这些物质的场所使用。MAGSTM 可用于消除船舶、社区或机构产生的所有可燃副产品,同时对废物的无机部分进行消毒。MAGSTM 可轻松处理的废物流包括但不限于纸张/纸板、塑料、食品、含油抹布、油类和淤泥,而无需进行分类。 MAGSTM 每天可处理多达 1 吨的可燃物质,每天产生超过 2,400 千瓦时的能量。 MAGSTM 技术是 Terragon ...
... ArgonØ ™在有限的工艺工具的闭合循环中回收气体,这比潜在的工厂范围内的安装有很大的优势,可以轻松、直接地改装到现有的晶圆制造厂,并允许分阶段安装,与工艺工具一致,进入新的 "地面 "设施。 ArgonØ ™将>95%的炉子废气回收到工艺中,其纯度超过了Semi PV6-1110的要求,在工艺中去除1000ppm的污染。 ArgonØ ™设计用于回收、净化和循环来自真空炉(包括CZ和DS)的净化气体,用于生长硅锭以继续制造晶体太阳能电池。该系统能独特地应对用于疏散炉子的油封和干式真空泵,并利用与剑桥大学联合开发的技术,使回收率至少达到95%。回收的氩气纯度超过了SEMI ...
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