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平面度测量系统
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平面度测量系统
... 对于要求平面度小于 100 微米的任何表面,市场上都有利用 XY 工作台的 Z 轴光学检测系统。这些系统的价格不菲(接近 3 万美元),尤其是当目标零件尺寸大于 12 英寸(300 毫米)时。 一般来说,在制造过程中,磨削后的表面重复性好,可能不需要 100% 的检测。应用多点平面度检测板,通过 32 个点的空间阵列来突出已知的与完美平面的最大偏差,可以实现更低成本的解决方案,但却能获得 90% 的空间平面度结果。 通过将非接触式传感器多路复用解决方案应用于位置良好的传感器阵列,并使用 ...
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平面度测量机
GI20
... 罗技的GI20平面度测量仪提供高精度的平面度测量,适用于直径达150mm(6″)的研磨和半抛光表面。与传统的菲佐干涉仪不同,GI20可用于测量非反射表面,使其成为在最终抛光前对研磨和/或磨削表面进行检查的理想仪器。 干涉图显示在设备前端的屏幕上。可以通过HDMI端口创建一个平行显示,图像也可以通过USB端口导出,用于外部分析。干涉仪的所有功能都通过触摸屏面板控制。 掠入射型干涉仪 一个标准的菲佐干涉仪,根据使用的波长,通常以大约0.3微米的条纹间距运行。这通常限制了对高反射材料的平面度测量,而高反射材料将在显示器上提供足够的对比度。由此产生的条纹之间的短距离往往阻碍了对 ...
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