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... 概述
激光气体分析仪 LG-100 Series 对半导体制造中蚀刻工艺产生的四氟化硅（SiF4）分压变化进行实时测量。该测量可用于终点检测，降低欠蚀或过蚀风险，从而提高生产效率和良率。
技术与应用
LG-100 Series 集成了 HORIBA 的 IRLAM™（Infrared Laser Absorption Modulation）红外气体分析技术。IRLAM 可在 ppb 级别实现高灵敏度测量，响应时间约为0.1秒。该分析仪支持多组分气体分析与快速响应，适用于先进逻辑半导体的蚀刻工艺和非等离子体应用。
主要特性
- 对蚀刻过程产生的排气成分进行高灵敏度、高速测量
- 通过气体成分变化实现终点检测（SiF4
... 概述
TXR ID 是一款便携式制冷剂识别仪，可检测车辆或充装瓶中的制冷剂类型（R134a 或 R1234yf）并验证其纯度。该设备采用 TEXA 开发的活性炭过滤器以降低外界污染物影响，从而提升分析准确性。内置软件界面带有引导流程，可实现快速、简单且自动的检测。
优势
- 通过检测错误或被污染的制冷剂，确保空调系统的安全和正确加注。
- 便携式电池供电设计，适合车间移动和现场分析。
- 软件引导流程可降低操作人员错误并加快检查速度。
硬件要点
- 5.4″
... 概述
ENVEA PAS Sense 1314i 是一台光声红外气体分析仪，可对最多五种气体及水蒸气进行 ppb 级检测。仪器可补偿温度、压力、湿度及已知气体干扰，以实现稳定结果、最低限度的维护并且无消耗品。该设备在宽动态范围内具有线性响应，通常每年最多需要两次校准。
特性与优点
- 可测最多五种气体及水蒸气
- 可选择性测量多种气体和蒸气
- 在宽动态范围内呈线性响应
- 运行稳定：通常仅需每年最多两次校准
- 易于使用：通过