防震平台

高度: 15 in - 48 in

概述 半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛”替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。 消振 Quiet ...

载荷能力: 0 kg - 1,134 kg
高度: 200 mm

... 与标准的STACIS静音岛类似，这个紧凑型版本为通常重量超过1134公斤（2500磅）的大型仪器提供出色的亚赫兹主动地面振动消除。 标准静音岛需要至少380毫米（15英寸）深度的高架地板或凹坑，而紧凑型静音岛利用STACIS IIIc低调隔离器和定制的袋状平台，以配合低至200毫米（7.86英寸）的高架地板高度。 下面的图片说明了标准和紧凑型静音岛高度的比较。 由于安装在我们静音岛®平台上的设备的复杂性、敏感性和价值，我们不保留标准的目录编号以供订购。我们认为每一个安装都是一个定制的工程解决方案。建议的订购程序如下。 告诉我们您想隔离什么设备或仪器。由于我们的安装基础，我们很可能已经根据你的应用要求设计了一个平台。此外，我们与步进器、对准器、SEM和其他工具制造商保持密切联系，以了解最新的尺寸、形状、重量变化和地面振动规格。 向我们提供地面振动数据或与我们讨论如何安排测量这些数据。 ...

概述 对于传统的实验室地面，隔离高大工具的建筑地面振动是一个人体工程学领域的挑战。将隔振器直接放置在工具下方可能会将工具抬高到一个不切实际的高度。此外，传统空气隔振器放置在一个较高、上重下轻的有效载荷之下时不稳定。 TMC的STACIS地面平台解决了这一难题。通过将我们的不锈钢平台与独特的“提升罩”设计相结合，我们的隔振器可“支撑”平台，使工具在地面上方抬起最小距离。此外，由于隔振器未集成到平台中，因此平台可以定制设计以匹配工具尺寸或任何所需的形状。 STACIS地面平台配置了我们的STACIS主动压电隔振器。STACIS的优势包括： •STACIS压电隔振器不受较高、上重下轻有效载荷的影响。没有重力不稳定的危险。 •安装在地面平台（TEMS）上的仪器是对振动最为敏感的工具之一。STACIS可提供市场上最好的隔振性能，无低频放大。 •需要隔振的仪器通常采用内置隔振系统。该系统一般是低频空气隔振器，通常不能由另一个低频空气隔振系统支撑。STACIS可“堆叠”在任何工具内部隔振系统的下方。 TMC与仪器制造商密切合作，确保我们的平台设计满足仪器的尺寸、结构和效用要求。 我们已成功地隔离了数百种不同的仪器，已十分熟悉工具的要求。在大多数情况下，您只需提供工具制造商和型号，以便我们为您推荐解决方案。

载荷能力: 408 kg - 1,452 kg
宽度: 895 mm
高度: 160 mm

概要 SEM-Base®VIは、STACISアクティブピエゾ式除振の次世代製品です。SEM-Base VIは、すべての市販の走査型電子顕微鏡（SEM）と同様に多くの集束イオンビーム（FIB）と小型デュアルビーム計測器を支持するように設計されています。SEM-Base VIは、改善された除振性能、より高速で頑丈なコントローラー、そして高度なグラフィカルユーザーインターフェース（GUI）を提供します。SEM-Base VIは、多くのラボと施設の床振動レベルが機器メーカーの仕様を満たすことを可能にします。 ...

载荷能力: 818 kg

TOOL-Base是一种先进的主动压电地面减振平台，用于超精密仪器和机械设备。 它适用于比典型的商业扫描电子显微镜（SEM）更大或更重的仪器，而且设备有高度限制。 TOOL-Base不局限于单一的配置，而是可以被设计成与工具的尺寸、腿的布局和高度要求紧密匹配。此外，它的容量可以与有效载荷的质量相匹配。 硬安装技术 - TOOL-Base是带有内部气动振动控制系统的理想工具，提供一个稳定和坚硬的平台，以支持振动敏感的工具。 主动惯性振动消除 ...

宽度: 440 mm - 540 mm
长度: 540 mm - 640 mm
高度: 100 mm

... VITAP-F台面平台是一个变体，配备了经过测试的FAEBI®橡胶空气弹簧和止回阀（自动阀）。 不需要连接到外部压缩空气供应。包括一个手动泵 技术数据和变体 颜色 RAL 7037，尘土飞扬的灰色 ...

宽度: 440 mm - 540 mm
长度: 540 mm - 640 mm
高度: 105 mm

... 带FAEBI®橡胶空气弹簧，手动调节高度，负载600 - 1,300 N，垂直自然频率4.5 - 6 Hz 一般产品描述 描述 VITAP-FP桌面平台是一个变体，配备了久经考验的FAEBI®橡胶空气弹簧和精细的压力调节器，可以方便地调节高度。 可与外部压缩空气供应连接。 技术数据和变体 颜色 RAL 7037，灰白色 ...

宽度: 440 mm - 540 mm
长度: 540 mm - 640 mm
高度: 98 mm

... 带水平控制的BiAir®薄膜空气弹簧，载荷750 - 2,000 N，垂直自然频率3 Hz 一般产品描述 描述 VITAP-BM振动隔离工作台是一个变体，带有高效的BiAir®膜空气弹簧和机械气动液位控制（MPN），可根据负载变化进行自动液位补偿。 可与外部压缩空气供应连接。 技术数据和变体 颜色 RAL 7037，灰白色 ...