3轴控制模块

... 功能强大的三轴坐标测量机控制器，具有内置标准触发器和TP200接口、PH10 PLUS测座控制器和热误差补偿（TEC）。 - 专为三轴坐标测量机市场设计 - 适用于使用触发式测头的大型和小型坐标测量机 - 集成的TP200接口 - 16个温度补偿通道 - 集成PH10 PLUS和PH10接口 - 支持多线测量 以下是所有UCC控制器的共同细节。 - 为直接数控（DCC）坐标测量机配置 - 处理器类型。 1.6 GHz英特尔Atom - 适合的手控单元。MCUlite-2*，MCU5-2，MCU ...

... 功能强大的三轴坐标测量机控制器，具有内置触发器接口、TP200接口、SP600和SP25M接口、PH10 PLUS测座控制器和温度补偿功能 -服务于三轴坐标测量机市场 -适用于使用SP25M或SP600扫描测头和PH10 PLUS的大型和小型坐标测量机 -具有整体热误差补偿（TEC），支持16个通道的温度补偿 -必须与雷尼绍SPA3放大器配合使用 -使用外部电源，对PH10 PLUS测座、坐标测量机和测头信号进行全面控制，并与坐标测量机的计算机进行通信 以下是所有UCC控制器的共同细节。 -为直接数控（DCC）的坐标测量机进行配置 -处理器类型。 ...

... VULCANO XYT 平台由标准 VULCANO XY 组成，配备了 RTTB旋转模块，其中包括高分辨率编码器与出色的机械轴承耦合。 该平台的使用适用于但不限于： -晶圆过程控制应用，如叠加计量、临界尺寸和薄膜计量 -后端：在大型面板/基板上制造的特定倒装芯片工艺 特性 -紧凑型占地面积 - 纳米位置稳定性 -短移动和沉淀时间 -高动态 -高双向重复性 -高位置稳定性 -ISO 1 级洁净室兼容性 ...