使用蔡司 Axio Imager Vario 分析最小的 MEMS 传感器或整个平板。其柱形设计使您能够同时研究超大型试样,并提供高稳定性。此外,Axio Imager Vario 还通过了无尘室使用认证。
检查大型样品
与无尘室兼容
始终聚焦
检查大型样品
选择手动或电动色谱柱,可对最大尺寸为 300 mm × 300 mm、最大高度为 254 mm 的样品进行研究。无论是处理重型样品,还是与蔡司 LSM 材料共聚焦激光扫描显微镜结合使用,坚固的立柱设计都能提供可靠的稳定性并防止振动。
晶圆和光掩膜检测对清洁度的要求极为严格。因此,必须在无尘室内进行。无尘室按照 DIN EN ISO 14644-1 进行分类,根据每立方米的颗粒数量和大小进行区分。Axio Imager Vario 通过了该标准的认证,符合 5 级洁净室的要求。ISO 5 级无尘室相当于前标准 FED STD 209E (1992) 的 100 级。
时刻聚焦
在检查反光、低对比度表面时,只需为 Axio Imager Vario 配备高效的硬件自动对焦功能即可。它可确保反射光和透射光的高精确度。传感器会检测对焦位置的变化,并自动补偿任何偏差。即使是大型标本,在移动过程中也能保持完美对焦。
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