集成控制器的位移台 X-LDA-AE Series

线性机动单轴

带有内置控制器的微型线性电机级 Zaber 的 X-LDA-AE 系列器件是计算机控制、电动线性级，采用紧凑型封装，提供高速、高精度和可靠性。 集中安装的线性编码器可实现高达 1 µm 的位置精度，且运动步长可达 20 nm。 X-LDA-AE 器件采用非齿轮无铁直线电机，提供高速和加速能力。 驱动器和编码器均为非接触式，且没有移动电缆，因此系统非常坚固。 具有 0.8米/秒的速度，可达 4 g 的加速，具有 25、75 和 150 毫米行驶选项。