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机架式电源 ECBAC/AC单输出开关式
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产品规格型号
- 安装方式 / 规格
- 机架式
- 种类
- AC/AC
- 输出
- 单输出
- 技术
- 开关式
- 输入电压
120 V, 220 V
- 输出电压
1 kV
- 电流
最多: 0 A
最少: 0 A
- 功率
15 W
产品介绍
ECB 系列是用于静电吸盘（E-Chuck、ESC）的高压放大器。除了极性切换和强制接地外，该系列还提供晶片监测系统，以满足晶片检测需求。此外，该系列具有宽电压范围，支持库仑和约翰森-拉贝克静电吸盘。
应用领域： 应用领域： 应用领域： 应用领域
静电驱动材料处理
半导体晶片加工
对机械处理敏感的板材或其他加工材料的非机械传输
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