DP 系列 3kW 高压电源可输出正或负高压,输出范围从 8kV 到 100kV。用于本地控制的 DP 高压电源前面板功能
后面板模拟接口可实现远程控制、标准网络端口和 RS232 数字接口。具有响应快、上升速度快、电压稳定性高等特点。
灵活的数字控制和模拟控制,具有低纹波、低噪音、调节稳定和电弧保护等特点。DP 采用碳化硅等逆变器,适用于多种应用场合。
要求苛刻的应用,如半导体制造、真空沉积。DP 高压电源的许多操作功能可由用户自行配置,以满足客户的具体要求。
应用: 应用
加速器、电容器充电、电子束、离子束、离子注入、半导体制造、光刻、电子元件老化、高压绝缘测试、静电应用、激光、大功率射频发射器、X 射线系统、科学实验、工业应用
可选功能:
200 180 至 220 VRMS,三相输入,48-63 Hz(符合 SEMI 要求)
400 340 至 460 VRMS,三相输入,48-63 Hz(符合 CE 要求)
规格: 稳定性
稳定性:半小时后,每小时 0.01%,每 8 小时 0.05%。
纹波电压:0.05%。
温度系数: ≤100ppm/℃。
电压和电流显示:0~+10Vdc 对应 0~100% 额定电压输出,输出阻抗 Zout=10kΩ,精度:±1%。
---