数字功率控制器 POWERGLIDE®

DIN导轨模块化用于温度控制区

POWERGLIDE® 是瓦特隆自适应热系统 (ATS™) 技术的独特体现，它将温度和功率控制集成到一个支持 ATS 的设备中，是半导体加工应用的理想之选。 POWERGLIDE 提供多种通信协议，包括 EtherCAT®，该协议针对半导体制造业进行了优化。 功能和优点 内置自动校准算法 消除与校准相关的停机时间 基于高 TCR 加热器材料的温度控制 允许对所有区域进行闭环控制 采用陶瓷控制算法 保持材料的局限性以保护基座 提供可编程、基于状态的 PID 控制 EtherCAT® 通信协议 确保遵守行业标准协议