电磁阀 061 series
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产品规格型号
- 温度
最少: 0 °C
(32 °F)最多: 120 °C
(248 °F)
产品介绍
用于第 4 代至 11 代平板显示器生产系统的转移阀。 在 FPD 生产系统中，TwInVat 转移阀用于负载锁定、转移、工艺室隔离。
阀门
过程控制单元 (PCU) 和电磁阀
表面处理，如硬质阳极氧化铝
真空计检测阀体内部的压力
垂直安装位置
闸门
其他密封材料
电气接地
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