闸阀 031 series
气动可锁半导体工业

闸阀 - 031 series - VAT Vakuumventile AG - 气动 / 可锁 / 半导体工业
闸阀 - 031 series - VAT Vakuumventile AG - 气动 / 可锁 / 半导体工业
闸阀 - 031 series - VAT Vakuumventile AG - 气动 / 可锁 / 半导体工业 - 图像 - 2
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产品规格型号

种类
闸门
驱动类型
气动
主体材料
可锁
应用
半导体工业
材质
铝制
其他功能
转运
其他特性
双作用
通径

最少: 32 mm
(1.26 in)

最多: 420 mm
(16.535 in)

压力

最少: 3 bar
(43.5 psi)

最多: 7 bar
(101.5 psi)

温度

最少: 0 °C
(32 °F)

最多: 40 °C
(104 °F)

产品介绍

对装载锁和处理房间隔离在半导体产品系统200和300 mm薄酥饼的。-机械上锁在关闭位置-低震动-压差选项偷看标准SU (选择)

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