高度真空阀门 151 series
闸门气动隔离

高度真空阀门
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产品规格型号

种类
闸门
驱动类型
气动
功能
隔离
阀体
应用
用于高度真空, 半导体工业
其他特性
双效
通径

63 mm, 100 mm, 160 mm, 200 mm, 250 mm
(2.48 in, 3.937 in, 6.299 in, 7.874 in, 9.843 in)

压力

最少: 4 bar
(58 psi)

最多: 7 bar
(101.5 psi)

温度

最少: 0 °C
(32 °F)

最多: 250 °C
(482 °F)

流量

480 l/s, 1,700 l/s, 6,000 l/s, 12,000 l/s, 19,400 l/s
(126.8 us gal/s, 449.09 us gal/s, 1,585.03 us gal/s, 3,170.06 us gal/s, 5,124.94 us gal/s)

产品介绍

适用于必须低颗粒数和低冲击冲击的应用。 经常用于研发,也用于半导体工艺系统。

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。