高度真空阀门 151 series
闸门气动隔离

高度真空阀门 - 151 series - VAT Vakuumventile AG - 闸门 / 气动 / 隔离
高度真空阀门 - 151 series - VAT Vakuumventile AG - 闸门 / 气动 / 隔离
高度真空阀门 - 151 series - VAT Vakuumventile AG - 闸门 / 气动 / 隔离 - 图像 - 2
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产品规格型号

种类
闸门
驱动类型
气动
功能
隔离
应用
用于高度真空, 半导体工业
材质
铝
其他特性
双效
通径

63 mm, 100 mm, 160 mm, 200 mm, 250 mm
(2.48 in, 3.937 in, 6.299 in, 7.874 in, 9.843 in)

压力

最少: 4 bar
(58 psi)

最多: 7 bar
(101.5 psi)

温度

最少: 0 °C
(32 °F)

最多: 250 °C
(482 °F)

流量

480 l/s, 1,700 l/s, 6,000 l/s, 12,000 l/s, 19,400 l/s
(126.8 us gal/s, 449.09 us gal/s, 1,585.03 us gal/s, 3,170.06 us gal/s, 5,124.94 us gal/s)

产品介绍

适用于必须低颗粒数和低冲击冲击的应用。 经常用于研发,也用于半导体工艺系统。

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