自动浸脂机 LCS

全自动纺丝涂布机和开发机 LCS 特点： 用户友好的触摸屏界面 最多 5 条配料线 机动臂，带可编程点胶高度 占地面积小，600x625毫米 自动透明盖板 广泛的旋涂卡盘尺寸 快速、方便的卡盘更换 碗的清洗工艺简单 LCS是专为半自动旋涂和显影的晶圆和平面基板而设计的，将是试验项目、研究所和研发的最佳选择。它保证了高均匀性和可重复性，并且操作和维护简单。它可以加工最大150mm的晶圆或最大125x125mm的方形基板。 为了使化学试剂与计量碗具有最佳的化学兼容性，可以用POM、阳极氧化铝、聚丙烯、不锈钢或PTFE制成。 通过用户友好的触摸屏显示器配置旋涂工艺。用户可以对多达50个配方和20个步骤进行编程。每个步骤可以有不同的速度、加速度和时间参数。 选项： 背面冲洗(BSR) 边角料去除(EBR) 气动注射器分配系统 电动注射器分配系统 带数字表和压力控制的加压瓶分配系统。 各种真空或机械卡盘 晶圆定位工具 碗由阳极氧化铝、聚丙烯或PTFE制成。 规格： 晶圆尺寸达，毫米- 150 基板尺寸达，毫米- 125x125 转速范围，转速 - 0 - 10 000 配料线-- 最多5人 存储的程序 - 无限 电源电压 - 230 VAC 50/60Hz 15A CDA供应压力，巴- 4-5 CDA连接管，毫米- 8 排气管，m3 - 55-60 排气管接头，毫米- 50 排水连接器管，毫米- 12 外形尺寸，毫米- 600x625x1300