退火炉 MILA 5050

红外线金像炉/RTA 系统 这个系统是一款迷你灯退火器，可以进行高达 50mm 平方尺寸的样品的热处理。Mila-5000 系列是目前可用于 20mm 平方尺寸样品的型号，自发布以来，已经被许多客户所用。 但是，为了满足客户越来越多的需求，他们希望加热较大的样品，这一新系统可用于高达 50mm 平方米的样品的热处理，该系统仍然具有紧凑的机体，其中集成了加热炉、腔室和温度控制器。 特点/其他应用 应用 Si 晶圆和复合晶圆的 快速热退火电子材料如光学 CVD 基材的快速 热退火玻璃基材, 陶瓷和复合材料等 热处理热循环试验 热金属材料退火 涂层薄膜的耐热性评估 有机材料和树脂的加热和干燥 特点 热处理最大 50 毫米平方尺寸样品 最大工作温度 1200°C 台式机型，其中加热炉，室和温度控制器都集成了 快速加热/冷却和清洁加热与冷壁结构 简单的温度配方输入到计算机 中，在加热过程中连接 USB 显示器温度数据（数据可以保存为文本格式）。