工艺气体分析仪 QULEE HGM series

残余气体监控工艺流程

高性能工艺气体监测仪-贵利 HGM 系列 ULVAC 全新 “贵利 HGM” 残余气体分析仪系列，具有革命性的简单性。 拥有所有型号的最高灵敏度，在 2.5×10-6A/Pa，Qulee HGM 可满足各种研发和其他真空系统过程监控需求。最适合研发应用 提供最高灵敏度 2.5×10-6A/Pa（3.3×10A/ 托尔，2.5×10-4A/ mbar） 集成显示器 无需 PC 简单操作 “一键式” 功能 烘烤出 最大 250˚C（482˚F）高温烘烤（当 传感器被移除时 300˚C（572˚F）） 脱气功能 电子炸弹脱气 维护 丝、离子源和二次电子倍增器易于 更换。 保护和维护功能 单元提供离子源和二次 电子倍增器的保护和维护 分析管的可追溯性（专利申请） 各种泄漏测试可用 氦泄漏测试，空气泄漏测试，泄漏 测试总压 力测量压力测量（电离计） 包含 Qulee QCS 此软件并兼容（Windows XP/7） 适用的标准 符合 CE