裂纹检查机

光学用于电子工业高速

Array制程自动光学检测设备采用天准自主开发Virg。软件平台和独有平台标定技 术，适用于Array基板的全制程缺陷检测，扫描速度快，成像精度高（检测精度 1．04m/l．54m可切换）。 品控难点 前段制程是显示面板制造过程中重要环节，Array面板制程利用A01检测技术监控制造过程的外观缺陷，其检测精度和效率对产品良率和成本产生重要的影响。外围电路、不规则区域的检测困难， 成为各显示工厂Array段品控的难占 设备优势 ·天准独有的标定平台技术支持图像更好拼接，实现分区域检测，对AA区采用周期对比的方式，对外围区域采用Pane|toPane|对比方式 ·天准自主开发的Virg。软件平台支持矩形、圆形、半圆形等异形Map建立 ·检测精度1．0m/1．54m可切换