纳秒激光系统 TruMicro Serie 8000

脉冲短冲击式固态

概述
TruMicro 8000 系列为工业微加工与大面积生产提供高功率紫外短脉冲固体激光器。代表型号 TruMicro 8320 将较高的平均功率与 343 nm 紫外波长结合，提高某些材料的吸收率，适用于柔性 OLED 的 Laser Lift‑Off 等工艺，可通过多机同步提升产能。

主要优势

• 高 UV 输出：短波长在微加工与薄膜分离工艺中提高效率。
• 工艺稳定可重复：内置功率调节器保证稳定的脉冲能量。
• 可扩展产能：最多支持 4 台激光器同步以实现功率叠加。

应用
适用于柔性 OLED 显示器的大批量 Laser Lift‑Off 工艺，也适用于大面积微加工、薄膜处理及需保护敏感有机层的工艺场景。

软件与控制
TruControl 提供实时功率调节、接口管理与统一的控制架构，支持通过远程服务进行安全诊断与故障排查以降低停机时间。

可选项

• 远程服务：安全的远程诊断与配置能力。
• 多激光器同步：最多可将多达 4 台设备同步以提高产能。
• 数字化集成：支持 OPC UA 等接口，便于接入 Oseon、监测/分析工具或第三方软件。

技术数据（代表型号）

• 型号：TruMicro 8320
• 平均输出功率：200 W
• 光束质量 (M²)：22.5 ± 2.5
• 波长：343 nm（紫外）
• 脉冲宽度：15 ns ± 3 ns
• 最大脉冲能量：20 mJ
• 最小重复率：10 kHz
• 激光头尺寸（宽 x 高 x 深）：810 mm x 450 mm x 2131 mm
• 供电单元尺寸（宽 x 高 x 深）：1090 mm x 1798 mm x 650 mm
• 环境温度（安装）：20 °C - 27 °C