光学测量仪器 TR SCAN COMPACT WILI

表面非接触式压电

Trimos的TR Scan Compact WILI系列可以对任何类型的材料进行测量，具有亚纳米级的分辨率。 由于其使用简单，体积小，它很容易集成到实验室环境中，可以实现快速和简单的测量。 - 占地面积小 - 非接触 - 测量范围为400µm - 分辨率为0.1纳米 - 易于使用 - 可交换光学器件，或安装在转盘上 - 2.5倍和5倍的迈克尔逊式光学器件，视野宽广 WLI (While Light Interferometry)技术与压电马达相结合，可实现极快的测量。 工作台允许手动移动重达5公斤的工件。 可选择电动工作台，以扩大X&Y测量范围。