这是一种全新的光学干涉测量系统,它不受光学元件或被测物体精度的限制,其基础是当粗糙表面物体被激光照射时产生的散射场(激光斑点)在统计意义上是完全随机的。
预期应用
- 微型机械部件(如微机电系统)的运行分析
- 应变计不适用的应用(测量聚合物材料和微连接部件的变形和热应变特性)
- 生物样本(测量植物生长的超短时间行为、植物工厂作物的高精度生长监测、设定最佳栽培条件)
- 环境测量(利用生物进行环境评估)
特点
- 高精度测量--可进行亚纳米级测量(测量系统仅由所使用的数据点数量决定)。
- 非接触、非侵入式测量
- 光学系统简单
- 测量时无需绝对参考点(可使用任意两个点)
激光 - 波长:660 纳米
最大输出功率90mW
相当于 3B 级
激光束直径 - 约 1.0 毫米
激光束间隔 - 约 3.0 毫米
测量精度 - ±1.0nm
电脑和软件 - 作为标准配件提供
帧频 - 2fps
电源 - 单相,AC100V,50/60Hz,5A
尺寸 - - 宽 240 × 深 200 × 高 280 毫米(主机)
- W390 × D320 × H200 毫米(控制装置)
重量(约) - - 5 千克(主机)
- 6 千克(控制装置)
---