圆形抗震支架 STACIS® III

橡胶主动隔振器

STACIS® III是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和最先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。 STACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中最敏感仪器的行业标准解决方案。 STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的高级控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动最为敏感的仪器° STACIS III的优势- STACIS比空气隔振器硬数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在最佳状态下运行。 独特的串行设计和专有的高力压电技术 可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的卓越主动隔振性能。