组合传感器 (Piezo/Pirani)真空计 VSL

RS485EtherCAT

真空传感器 VSL 是专为负载锁开发的。这种金属密封真空计采用多传感器技术，将两个压电传感器和一个皮拉尼传感器结合在一起。因此，真空传感器可测量 1200 ... 1e-4 mbar 范围内的绝对压力以及 -1060 ... +340 mbar 范围内与环境相关的相对压力。 带有压电/皮拉尼多传感器的 VSL 真空传感器概览： - 集成式多传感器系统：两个压电膜片传感器用于监控真空室的抽气和换气；皮拉尼传感器的测量范围低至 10-4 毫巴，用于控制加载锁和过程真空室之间的低压传输，最大限度地减少颗粒事件的发生。 - 数字 RS485 接口和 0-10 V 输出信号、EtherCAT 或 PROFINET - 压差输出用于精确触发开门功能 - 高精度、最佳分辨率和出色的稳定性 - 响应时间短，可达 40 毫秒 - 优化的温度补偿确保读数稳定 - 20 毫巴以上的测量与气体类型无关