臭氧溶解探测器 470

半导体式工业模拟

470是最先进的溶解臭氧测量模块，为半导体湿法处理和许多其他工业过程设计。它能够提供去离子水或硫酸中浓度高达150mg/L的溶解臭氧测量。470已完成“预备清洁”，能够满足高纯度半导体过程的需求，并且可简单的直接拼接进任何湿法处理的环流回路中，最高支持150 SLPM的流量。 470型传感器使用双路取样传感技术，达到了无与伦比的性能，且摆脱了对参比液体测量的需求。 通常的安装仅仅包括470传感器和特氟龙7包裹的内部连接电缆。470传感器能够通过模拟或数字信号向湿法处理过程控制台远程报告测量的浓度。​ 管路内，全流量 现场监测 直流流型 无移动部件 无消耗品 量程高达150 mg/L 远程零点校准 高精度的紫外吸收法 双光道采样感应技术 无需周期性维护 半导体级别湿材料 紧凑的特氟隆外壳 特氟隆7包裹的内部连接电缆