气体监控装置 PPM100

PPM100是用于SRS残余气体分析仪的独立控制器/监测器。它测量来自SRS RGA的部分压力和来自最多四个电容式压力计的总压力。触摸屏液晶显示器上有图形输出。PPM100包括8个通道的过程控制能力，四个模拟I/O端口，RS-232、USB和GPIB计算机接口，以及一个网络接口。 残余气体分析 PPM100设计用于监测和控制单个SRS RGA。菜单驱动的用户界面允许操作人员从前面板轻松地对RGA参数进行编程（即，不需要主机PC）。RGA数据可以作为模拟扫描、部分压力与时间的关系、泄漏趋势（带音频信号）或单一质量读数进行查看。该数据还可以与报警器、过程控制继电器和模拟端口相连，以实现对特定成分气体的闭环控制。 屏幕截图1 模拟I/O PPM100有四个可配置的模拟I/O端口。这些端口可用作输出，控制辅助真空设备，如加热器、执行器、离子源、可编程逻辑控制器和节流控制器。作为输入，最多可以同时监测四个电容式压力计。 数据记录 所有仪表（和所有模拟输入）的数据都以用户定义的速率存储。典型的应用包括捕捉泵降或排气曲线，在沉积过程中监测质量流量控制器信号，以及在烘烤或热处理过程中监测温度和其他时间变量。