多通道阀组 BGMA用于气体
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产品规格型号
- 通道数量
- 多通道
- 应用
- 用于气体
产品介绍
二进制气体歧管 (BGMA) 在每个出口处具有相等的电导率，可实现最均匀的气体流量和最快的反应溅射响应时间（无论歧管长度如何）。
通过有限元分析验证流量均匀性。
它具有坚固、简单的设计，易于清洗。
每个出口均具有相等的电导率，无论长度如何，均
为主气体和其他气体分段
完成安装硬件和废物屏蔽功能
坚固、简单的设计
优势
最高均匀性
快速反应溅射响应时间
耐用且容易干净
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