半导体工业循环冷却装置 Nikola series

水冷式电热

半封闭式冷风机。 Nikola 3K/5K 等离子蚀刻和其他半应用的高容量热电制冷机。 我们的最高容量冷却器专门为半导体加工而设计。 3,000或5,000瓦的冷却能力。 ±0.05°C 温度稳定性/重复性 两种泵的选择，流量可达10 gpm，压力可达100+psig。 减少晶圆与晶圆之间的差异，消除第一晶圆效应。 与基于压缩机的冷水机相比，节能高达80%。 采用热电技术，可靠性高，维护成本低。 模块化设计，便于维护 消除氟利昂和其他有害的制冷剂，以符合新的环境法规。 使用较少的设备用水和昂贵的冷却剂，如Fluorinert或Galden。 提供AMAT、LAM、TEL和日立系统的通信接口。 万能电源--插上电源就能去世界任何地方。 是等离子体蚀刻、等离子体灰、计量、CMP和其他工艺的优秀解决方案。