液相外延炉 ESY–10 TTT

管状立式石墨

灵活使用的LPE设备 SOF Optoelectronics ESY-10概念的主要特点是高产能与各种类型的LPE生产技术的灵活性相结合。五次熔化工艺的50个晶圆和一次熔化工艺的200个晶圆的产能显示了该类型设备的高潜力。 除了用于工业用途的标准ESY-10设备外，还可以实现客户设计的具有大量选项的解决方案。特别是ESY-10可以适应研究机构和大学的要求。 ESY-10可以被设计成一个或两个（双）系统，以减少在洁净室中的占用面积。 可用的生产技术 标准红外线 强力红外线 功率红外（低UF）。 电源窗口红外 用于IrDA 870纳米的功率红外 用于IrDA的850纳米功率红外 低掺杂砷化镓 技术亮点 单一或双系统 垂直LPE石英管 3个加热区 恒温平板区：250毫米 温度最高可达1050°C 温度调节精度：± 0.5 °C 最小。所需空间：1.2 x 1.2 m² 通过水平层生长实现层厚的高均匀性 全自动化的计算机 控制的工艺 所有工艺参数的数据记录 适用于多层外延工艺 适用于直径达4英寸的晶圆 灵活调整晶圆容量 最少3片用于开发的晶圆 用于生产的最多200片晶圆 原则上，ESY-10石墨系统由交替的固定和可移动的石墨板组成，这些石墨板上有容纳基片的凹槽。系统容量由石墨板的堆叠高度决定。