概述用于工业与研发的金刚石生长系统。Socrate Industrie 设计定制的 PECVD 与 HFCVD 设备,以适应客户工艺和工业要求。
技术与要点- 与 NEOCOAT 合作开发的两种金刚石生长技术
- MWCVD 技术:微波等离子体 CVD 反应器(MW6 系列)
- HFCVD 技术:热丝 CVD 反应器(HF 系列)
- 典型应用:硅片涂层、厚膜沉积、污水处理与分析
补充信息- 产品展示包含 PECVD 与 HFCVD 反应器及金刚石生长设备的图片和视频
- 产品页面提供可下载文档
技术规格- 产品类型:金刚石生长设备(PECVD / HFCVD)
- 系列:HF 与 MW6
- MWCVD:微波等离子体 CVD 反应器
- HFCVD:热丝 CVD 反应器
- 应用:晶圆涂层、厚膜沉积、污水处理与分析
- 合作伙伴:NEOCOAT(开发合作)