概述由Socrate Industrie开发的真空和溅射系统用组件与设备完整系列,适用于腔体隔离、压力控制以及通过真空封装进行运动传递。
列出产品- 真空开关:检测连接点处的真空存在或丢失,适用于电气控制和互锁功能。
- 特定闸阀:用于簇式系统和工艺设备的加热闸阀,以实现可靠的腔体隔离。
- 排气阀:通过控制超压来保护腔体的排气/安全阀。
- 阴极:为溅射沉积系统设计的磁控阴极。
- 旋转穿透件:将旋转运动传递通过真空外壳的旋转穿透件。
可用文档(仅标题)- V-Switch(文档)
- 闸阀(文档)
- 安全阀(文档)
- 磁控溅射(文档)
- 穿透件(文档)
技术规格- 品牌:Socrate Industrie
- 产品类型:真空开关、加热闸阀、排气/安全阀、磁控阴极、旋转穿透件
- 应用:真空系统、溅射系统、簇式系统中的腔体隔离、通过真空外壳的旋转运动传递
- 文档:每种产品均提供PDF文件
- 页面类型:产品系列 / 组件列表