半导体工业循环冷却装置 HRZ-F series
高性能水冷式

半导体工业循环冷却装置
半导体工业循环冷却装置
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产品规格型号

应用
半导体工业
其他特性
高性能, 水冷式
功率

2 kW, 4 kW, 8 kW, 10 kW, 15 kW

最高温度

最少: -20 °C
(-4 °F)

最多: 90 °C
(194 °F)

流量

20 l/min, 30 l/min
(5.283 us gal/min, 7.925 us gal/min)

压力

最少: 0 MPa

最多: 1.5 MPa

产品介绍

HRZ-F循环式冷风机特别适用于高科技领域,它符合多个SEMI设备标准,并将流体温度调节到±0.1°C。 泵和压缩机的旋转都由变频器控制,以提高能源效率。 制冷剂是R410A,符合当前欧盟F-gas法规。 该型号兼容含氟冷却剂,包括Fluorinert™和GALDEN®。 HRZ-F,SEMI标准双变频冷水机,用于氟化冷却剂 HRZ-F循环式冷水机特别适用于高科技领域,它符合多个SEMI设备标准,可将液体温度调节到±0.1°C。 泵和压缩机的旋转都由变频器控制,以提高能源效率。 制冷剂是R410A,符合当前欧盟F-gas法规。 该型号兼容含氟冷却剂,包括Fluorinert™和GALDEN®。 HRZ-F,SEMI标准双变频冷水机,用于乙二醇冷却剂 HRZ-F循环式冷水机符合多项SEMI设备标准,可将液体温度调节到±0.1°C,因此特别适用于高科技领域。 泵和压缩机的旋转都由变频器控制,以提高能源效率。 制冷剂是R410A,符合当前欧盟F-gas法规。 该型号兼容60%的乙二醇水溶液作为冷却剂。 HRZ-F,SEMI标准双变频冷水机,用于自来水或去离子水冷却剂 HRZ-F循环冷却器特别适用于高科技领域,符合多项SEMI设备标准,可将液体温度调节到±0.1℃。

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PDF产品目录

* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。