厚度测量仪器 LM series

长度光学激光

用于高精度触觉厚度测量和校准的光纤耦合高线性探头 - 用于触觉长度/厚度测量的激光干涉精密探头 - 线性度 ≤ ±2 nm - 测量力固定可调，0.5 ... 1.5 N - 整个测量范围内线性度高 - 整个测量范围内探头测量力恒定 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 LM 系列激光干涉仪是精密直线光栅。使用这些测头可以在 20 毫米或 50 毫米的测量范围内进行触觉测量，精度可达纳米级。这种高度线性的长度测量仪因其尺寸和直径为 Ø 8 mm h6 的夹紧轴而与传统测量系统兼容。 集成的激光干涉仪将电机驱动测量主轴的测量运动转换成干涉信号。该光学测量信号通过光纤传输到光电供应和评估单元，并以长度值的形式输出。测针轴套和集成式干涉仪相互调整，同时考虑到最大限度地减小阿贝误差和对准误差。 稳定的氦氖激光器（其光线通过光纤传输到激光干涉仪）和对激光波长的环境影响进行校正是实现高测量精度的基础。操作和显示可通过单独的显示屏或装有合适软件的个人电脑进行。