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强碱性变形机 晶圆用
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产品规格型号
- 类型
- 强碱性
- 应用
- 晶圆用
产品介绍
· 产能：600片/批，14400片/小时（210 硅片）；720片/批，17280片/小时（182硅片）。
· 工艺槽循环量可调。
· 制绒金字塔均匀，刻蚀深度可调。
· 支持最薄120μm 硅片。
· 洁净干燥区域，自洁净干燥系统。
· 低H2O2 消耗。
· 快速换液，在线换液。
· 支持MES、RFID 及选配在线称重功能。
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Wet Chemical Equipment Series
* 显示价格为参考价，此价格不含税、不含运费、不含关税，也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。