水清洗设备 SC-CSZJ9600E-20F
干式工艺流程晶圆

水清洗设备 - SC-CSZJ9600E-20F - Shenzhen S.C New Energy Technology Corporation - 干式 / 工艺流程 / 晶圆

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产品规格型号

技术: 水, 干式
应用: 工艺流程, 晶圆

产品介绍

用于扩散后的硅片去绕镀、清洗处理。去绕镀→后清洗→酸洗→后清洗→酸洗→预脱水→烘干（供参考） • 产能：400片/批，9600片/小时（210硅片）,480片/批，12000片/小时（182硅片）。 • 支持多种添加剂技术。 • 支持最薄120μm硅片。 • 洁净区域干燥，自洁净系统。 • 快速换液，在线换液。 • 支持MES、RFID及选配在线称重功能。