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技术特点 Features · 磁控溅射沉积。 镀膜原理 Coating Principle · PVD具有多阶阴极,可以制备种子层与多种折射率的叠层TCO。 可兼容硅片尺寸 Compatible Wafer Size · M10, M12/G12, 整片/半片。
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