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Shenzhen S.C New Energy Technology Corporation
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强碱性变形机
晶圆用
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产品规格型号
类型
强碱性
应用
晶圆用
产品介绍
· 产能:600片/批,14400片/小时(210 硅片);720片/批,17280片/小时(182硅片)。 · 工艺槽循环量可调。 · 制绒金字塔均匀,刻蚀深度可调。 · 支持最薄120μm 硅片。 · 洁净干燥区域,自洁净干燥系统。 · 低H2O2 消耗。 · 快速换液,在线换液。 · 支持MES、RFID 及选配在线称重功能。
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