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- Shenzhen S.C New Energy Technology Corporation
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自动搬运系统 模块化晶圆运输
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产品规格型号
- 运行方式
- 自动, 模块化
- 应用产品
- 搬运, 运输, 晶圆
- 用途
- 加工
产品介绍
· 设备模块化设计，内部相似结构零部件高度统一，便于备件管理。
· 采用触摸屏+PLC 控制，操作界面简洁明了。
· 采用小舟流转装卸逻辑，产能高: ≥ 8000 片/ 小时(182mm 硅片)。
· 配置机台内部最高权限暂停功能，充分提升机台安全冗余。
· 可配置行业主流检测设备（选配功能），提升制成良率。
· 可搭配AGV，RFID 实现花篮和工艺载具全自动调度追溯，并且可通过链接MES 实现花篮和工艺载具车间级管理和调度。
