绝对压力换能器 225

模拟不锈钢

Setra 的 225 型是高纯度气体输送系统、半导体工艺和控制应用的理想选择，这些应用要求超洁净操作、高产能和卓越的长期稳定性。 GCT-225 的腔体容积小，仅为 0.11 立方英寸，几乎不会夹带颗粒，因此可以轻松进行清洗。所有润湿部件均采用 316L VIM/VAR 不锈钢钝化处理，表面粗糙度为 5 Ra（最大 7 Ra），消除了表面的不规则性，提供了适当的表面化学耐腐蚀性，确保无污染物气体分布。每个传感器都经过质谱仪氦气泄漏测试，泄漏量为 1 x 10-9 ATMCC/秒。 225 型系列配有一个可旋转的盖子，便于接触 12 圈电位计，用于零点和量程调整。标准旋转式外螺纹或内螺纹端面密封压力接头符合半导体行业的要求。此外，还提供其他几种接头样式。 225 提供 5 VDC、10 VDC 或 4-20mA 输出。 提供六英尺多芯电缆或卡口连接器用于电气端接。Setra 获得专利的可变电容传感器采用 VIM/VAR 316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。传感器主体和电极板之间形成一个可变电容。压力增加会导致膜片轻微变圆，从而减小电容。 电容变化被检测到并转换成高精度的线性直流电信号。Setra 独特的定制集成电路采用专利的电荷平衡原理，几乎不产生电磁干扰/射频干扰。 应用 - 气柜 - 高纯气体输送系统