电子扫描显微镜电子束源 SEM 20

SEM和木钻的电子来源试验光点直径更好比20毫微米在25 kV射线voltage/0.5 nA射线潮流，在25 mm工作距离。 1 - 25 keV热量场致发射电子来源(肖特基放射器)，最大射线当前>100 nA。 与双重组合透镜、射线对准线四极、射线删去的板材和octopole的静电聚焦的专栏偏折和stigmation的。 射线潮流由电子光学可变物开口连续地是可调整的。 内部射线当前测量设施通过删去在法拉第杯子开口上连接了到B引线。 气动操作的专栏隔离阀。 必需的原产地真空<1 x 10-8 mbar。 抽的港NW 35锎(2 “OD)在来源房间的边。 对180 C.安装边缘NW 63锎(4” OD)的Bakeable。