卸载机装卸系统

晶圆

晶圆/细胞在单个工艺步骤之间的转移是通过手动或通过Montrac系统在专门开发的SCHMID载具中进行的。完整的载体在装载机上被放置成一排，然后移动到转移位置。 在这里，晶圆/细胞通过一个索引系统从载体箱中移出，随后被输送到工艺设备中。反过来，卸料器接收晶圆/单元，并确保SCHMID载体的持续装载。为此，晶圆/单元在速度控制的传送带上同步成行，并通过一个索引系统依次存储在空的载体箱中。 占地面积小，产量高 无振动和安全的晶圆/细胞运输 适用于不同尺寸的晶圆/电池 低破损率<0.1 适用于120微米以上的极薄晶圆/单元