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- RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd.
生产自动化系统 RTA-ALD9000L/UL流程
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产品规格型号
- 技术参数
- 生产, 流程
产品介绍
工艺：
● 适应M2 (156. 75), M4 (161. 75), G1 (158. 75), M6 (166), M10(182), M12(210)及230mm硅片
● 兼容不同尺寸的PERC工艺石英框
特点：
● 上下料：花篮或堆叠
● 3道上料，3道下料
● 输出：石英框
● 可选MES接口和远程诊断
● 可选智能IGV接口
● 智能机器，OEE统计和能源
● 消耗分析功能
