生产自动化系统 PECVD
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产品规格型号

技术参数
生产, 流程

产品介绍

工艺: ●适应M2(156. 75), M4(161. 75), G1 (158. 75), M6(166), M10 (182), M12 (210)及230mm硅片 ● 兼容不同尺寸石墨舟的PECVD工艺 特点: ● 上下料:花篮或堆叠 ● 输出:石墨舟 ● 实时温度监控 ● 可选在线色差/膜厚检测, PL检测, 碎片检测, 翘片检测, 翻转 ● 可选支持MES功能和远程诊断功能 ● 智能机器, OEE统计和能源消耗分析功能 ● 标配舟温检测, 垂直拍舟, 陶瓷吸盘, 单路真空 ● 可选智能IGV接口

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。