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- RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd.
生产自动化系统 RTA-DIA30000HP-R/L流程
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产品规格型号
- 技术参数
- 生产, 流程
产品介绍
工艺:
● 适应M2(156.75),M4(161.75),G1(158.75),M6(166),M10(182),M12(210)及230mm硅片
● 兼容不同工艺设备和不同尺寸的石英舟
特点：
● 上料和下料：花篮
● 输出 ：石英舟，一拖一/二
● 陶瓷吸盘，陶瓷快插顶齿
● 标配离子分片风刀
● 可选方阻测试，亲水性测试，缺片检测，带水片检测
● 可选支持MES功能和远程诊断功能
● 可选智能IGV接口
● 智能机器，OEE统计和能源消耗分析功能
