氧气分析仪 EXTREL™ VeraSpec™ APIMS

COCH4水

我们的EXTREL™ VeraSpec™ 常压电离质谱仪（APIMS）是为半导体和其他高科技工业应用中使用的超高纯（UHP）气体的污染控制而设计的，具有可靠和可重复的低万亿分率检测极限。 污染是昂贵的，20多年来，APIMS一直是在线检测气体混合物中低水平成分的研究和工业标准。我们的VeraSpec APIMS在半导体气体分析中采用了19毫米的三滤四级质量过滤器，具有最佳的性能、可靠性和正常运行时间。 业界最佳的大宗气体分析的低检测限（LDL）。 实时、多种类监测大宗气体中的所有关键杂质，包括微量O2、H2、H2O、CH4、CO、CO2、Xe等。 完善的、强大的质谱分析技术 独特的双源电离配置，无与伦比的测量范围从PPT到100%。 半导体制造商需要有能力持续地实时验证工艺气体的纯度，并检测浓度低至万亿分之一（ppt）的微量污染。 监测广泛的气体和气体混合物，其稳定性可提供大多数应用所需的长期可重复性。 请咨询我们的APIMS SX5，它具有流交换器功能。