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AC/DC开关电源 中频
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产品规格型号
- 种类
- AC/DC
- 其他特性
- 中频
- 输入电压
最少: 1,000 V
最多: 1,500 V
- 输出电压
最少: 80 V
最多: 1,000 V
- 电流
最少: 15 A
最多: 144 A
- 功率
最少: 20,000 W
最多: 108,000 W
产品介绍
MF交流磁控溅射电源
产品特点：中频交流磁控溅射电源在充分满足电源的基础上，实现了合理快速的灭弧功能；具有完善的欠压、过压、过载、过热等保护和显示功能；电源支持双靶操作，可溅射非导电靶材，提高电离率，有效克服靶材中毒和非正常放电。
电源配置：1、电源：一根3米输入电源线；2、可选配置：一套联锁保护装置。
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