真空镀膜系统 3000 RR

为必须在洁净室中执行的应用而开发。 模块化装配和可变的腔体尺寸。 无数的选择，如转台或不同的基质支架。 加工室的装载是在洁净室中进行的。 卸货通过灰房内的气闸门进行。 尺寸。 - 长：2095mm 宽：800 高：1450mm 重量：- ~ 300 KG 容积：- 140 / 200 / 300升 工艺室：- 500毫米直径H：700毫米（140升），600毫米直径/H：700毫米（200升），700毫米直径，H：800毫米（300升） 等离子体源：- 2,45GHz, 1200 Watt 包括：- 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 冷却系统：- 8升（机电式冷阱）。 真空连接：- DIN 40 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统：- 75m³/h 电气连接：- 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5千瓦