单向重复精度达 0.1 µm
无铁三相直线电机
速度达 200 毫米/秒
分辨率为 1 nm 的增量式线性编码器
交叉滚柱导轨
直线电机
直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件,将驱动力直接无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务,因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此,即使在最低速度时也能平稳运行,同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性,任何位置都能轻松控制。驱动力可以自由设定。
交叉滚柱导轨
在交叉滚柱导轨中,滚珠导轨中滚珠的点接触被硬化滚柱的线接触所取代。因此,滚柱导轨的硬度更高,所需的预紧力更小,从而减少了摩擦,使运行更加平稳。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高承载能力的特点。力导向滚动体保持架可防止保持架蠕变。
利用增量式线性编码器进行高精度位置测量
非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置,精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。
应用领域
医疗行业。激光切割扫描生物技术测量技术AOI(自动光学检测)。激光刻印
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