线性压电执行器 P-405 Picoactuator® series

多轴剪应力模式

无铅晶体致动器材料 高动态 适用于无位置控制的操作 低功耗 长度公差最小 双极工作电压高达 ±500 V。几乎无滞后运动（< 0.2 %）。无蠕变。作为纵向和剪切执行器，Picoactuators® 的配置高度可达 20 mm，行程范围为 1 µm。 技术 Picoactuator® 纵向和剪切致动器由晶体压电材料组成。剪切致动器的比位移为致动器长度的 ±0.02 %，纵向压电致动器的比位移为 ±0.01%。这一数值比用锆钛酸铅（PZT）制成的压电致动器低十倍。运动的线性度很高，几乎没有滞后现象。 可根据要求定制其他规格 超高压兼容至 10-9 hPa 内孔 小窍门 应用领域 工业和研究 真空应用 高动态开环扫描应用 利用纳米定位系统（"平面外 "和 "线外"）补偿不期望的横向运动