气体压力调节器 SMSQ2Micro series

隔膜单级黄铜

SMSQ2Micro 和 SMSQ2Micro130E 系列是市场上最先进的微型超高纯度（UHP）压力调节器。该系列提供极其精确且可靠的压力控制，可提升质量流量控制器（MFC）的性能，这对半导体生产的重复性和良率至关重要。该系列还具备卓越的密封性能和低颗粒产生率，这两点对于半导体应用都至关重要。 该系列调压器适用于惰性气体和腐蚀性气体，并对阶跃式流量需求变化具有卓越的响应能力。该系列采用独特的自复位系膜片设计，可确保可靠的阀座密封和压力调节。 通过取消气门弹簧和阀座锁紧螺纹，将颗粒产生和滞留降至最低，从而进一步提高了工艺洁净度和吹扫性能。 SMSQ2Micro 系列与介质接触的部件均由特种金属制成，可在高达 250 psig 的入口压力下提供卓越的耐腐蚀性、气密性和最长的使用寿命。 阀体内部经过电解抛光处理，采用帕克维里弗洛（Parker Veriflo）专有的 Vericlean™ 316L 不锈钢制造，其性能超过 SEMI F20 材料要求；每个隔膜和阀芯均由哈氏合金 C-22® 制成，每个阀座可选 PCTFE 或 Vespel® 材质。 SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均符合SEMI模块化接口规范，具有小巧的表面贴装占地面积，并提供C型密封和W型密封两种配置。